純化系統
Nu Pure (加拿大)
- 大宗氣體和特氣單點式 PPB 級純化器
- N2, Ar, H2, N2O, SiH4, NH3, CH4, CF4, C2F6, CHF3 等各器 PPB 級純化系統
官網連結：
www.nupure.com
- N2, Ar, H2, N2O, SiH4, NH3, CH4, CF4, C2F6, CHF3 等各器 PPB 級純化系統
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