纯化系统
Matheson (美国) / Taiyo Nippon Sanso (日本)
- N2, Ar, H3, Xe, Kr, Ne, CH4, C2H6, C3H6, C3H8, C4H10, H2, D2, CF4, C2F6, C3F8, NH3, SiH4, AsH3, PH3, GeH3, GeH4, BCl3, Cl2, SiCl4, SiHCl3, SiH2Cl2, HB4, HCl, HF, CO, NO, CO2, N2O, O2, (CH3)2O, SF6, C2H2
单点式/高流量式 PPB, PPT 级纯化器
官网连结：
www.mathesongas.com（美国）
www.tn-sanso.co.jp （日本）
单点式/高流量式 PPB, PPT 级纯化器
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