Gas Filtration and Purification (气体过滤和净化)

  • Model: GateKeeper® HGU Heated Getter Gas Purifiers

    这些 PS2、PS3、PS4 加热式气体净化器采用唯一能够去除工艺气体中所有碳氢化合物和氮气的净化器技术。 ●使用点 (POU) 气体净化可确保一致且可重复的工艺性能,将关键工艺区域与室内more

  • Model: GateKeeper® GPU Gas Purifiers

    GateKeeper® GPU 系列净化器旨在提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度。 ●纯度到百分位水平 ●气体兼容性范围广泛,包括腐蚀性气体,如Cl2、HBr、HCl、CFmore

  • Model: Wafergard® III NF-100 In-line Gas Filters

    这些镍膜过滤器是超纯气体系统过滤最清洁、最高效的全金属过滤器。 ●镍膜在惰性和无功气体应用中具有卓越的耐腐蚀性和优异的兼容性,流量高达 100 slpm ●清洁全金属结构是高温和动态压力more

  • Model: Wafergard® III NF-750 In-line Gas Filters

    晶圆® III NF-750 在线气体过滤器为超纯气体系统过滤提供卓越的颗粒过滤。 ●提供最清洁、最高效的全金属过滤器 ●专利镍滤膜 ●卓越的耐腐蚀性 ●适用于高温和动态压力more

  • Model: Wafergard® II F Micro In-line Gas Filters

    越的颗粒过滤,用于超纯气体系统过滤。晶圆® II F 微型在线气体过滤器推荐用于惰性气体和活性气体,可与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性。其紧凑的直径便于安装在狭窄的气板和机more

  • Model: Wafergard® II F-1500 In-line Gas Filters

    为超纯气体系统提供卓越的颗粒过滤,同时提供与各类半导体工艺气体的卓越兼容性。 ●PTFE 膜提供高效率的过滤 ●低压降降低了低蒸汽压力气体中冷凝的风险 ●与各类半导体工艺气体的兼容性极more

  • Model: Wafergard® MAX-1000 In-line PTFE Gas Filter

    这些在线气体过滤器利用由 PFA 结构和 316L 不锈钢外壳支持的 PTFE 膜,在超纯气体应用中提供卓越的颗粒过滤。 ●过滤面积大,过滤量大3倍,低压降,流量大 ●长度尺寸与当前滤波more

  • Model: Wafergard® MAX In-line PTFE Gas Filters

    这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容,在超纯气体应用以及一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。 ●PTFE 滤芯在超纯应用中表现卓越 ●专为高流量和低增量压力应用而设计more

  • Model: Wafergard® MAX HT In-line Gas Filters

    卓越的颗粒过滤,适用于高温、超纯气体应用。 ●专为高达 200°C (392°F) 的高温 TEOS 和高压应用而设计 ●总体设计(148 mm [5.82])是类似过滤more

  • Model: Wafergard® IV HF Mini In-line Gas Filters

    这些合金-22滤膜为超纯和腐蚀性气体系统提供卓越的颗粒过滤。more



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