Entegris

Model: Wafergard® II F-1500 In-line Gas Filters
为超纯气体系统提供卓越的颗粒过滤,同时提供与各类半导体工艺气体的卓越兼容性。
●PTFE 膜提供高效率的过滤
●低压降降低了低蒸汽压力气体中冷凝的风险
●与各类半导体工艺气体的兼容性极佳
●通过真空袋和双袋包装的洁净室提供卓越的开箱即用清洁度
 


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