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Entegris

Model: Wafergard® II F Micro In-line Gas Filters
卓越的颗粒过滤，用于超纯气体系统过滤。晶圆® II F 微型在线气体过滤器推荐用于惰性气体和活性气体，可与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性。其紧凑的直径便于安装在狭窄的气板和机柜中。
●PTFE 膜提供高效率的过滤
●低压降可降低低蒸汽压力气体冷凝的风险
●与各类半导体工艺气体的兼容性极佳
●用于惰性气体和活性气体，包括臭氧
 


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