Entegris
Model: GateKeeper® HGU Heated Getter Gas Purifiers
这些 PS2、PS3、PS4 加热式气体净化器采用唯一能够去除工艺气体中所有碳氢化合物和氮气的净化器技术。
●使用点 （POU） 气体净化可确保一致且可重复的工艺性能，将关键工艺区域与室内气体分配系统隔离开来，并防止气体纯度受到破坏和交叉污染
●提供最完整的去除稀有气体、氮气（N2）和氢（H2）杂质，具有高可靠性、低成本和高性能
●加热的获取材料与任何氧化物、碳化物和氮化物杂质形成不可逆的化学键
●优化设计提供子ppb性能，优于来自气缸或液体来源的气体，占地面积小，流速高达150 slpm（9 Nm3/hr）
●使用点 （POU） 气体净化可确保一致且可重复的工艺性能，将关键工艺区域与室内气体分配系统隔离开来，并防止气体纯度受到破坏和交叉污染
●提供最完整的去除稀有气体、氮气（N2）和氢（H2）杂质，具有高可靠性、低成本和高性能
●加热的获取材料与任何氧化物、碳化物和氮化物杂质形成不可逆的化学键
●优化设计提供子ppb性能，优于来自气缸或液体来源的气体，占地面积小，流速高达150 slpm（9 Nm3/hr）
