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Model: GateKeeper® GPU Gas Purifiers
GateKeeper® GPU 系列淨化器旨在提高工藝氣體的一致性、使用壽命和出口純度。
●純度到百分位水準
●氣體相容性範圍廣泛,包括腐蝕性氣體,如Cl2、HBr、HCl、CF4、SO2、SF6
●低壓降過淨化器
●CE 通過壓力設備指令 PED 認證,並在 ISO 9001-2000 工廠製造
●可再處理]消除了處置問題和成本
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