Entegris

Model: GateKeeper® HGU Heated Getter Gas Purifiers
這些 PS2、PS3、PS4 加熱式氣體淨化器採用唯一能夠去除工藝氣體中所有碳氫化合物和氮氣的淨化器技術。
●使用點 (POU) 氣體淨化可確保一致且可重複的工藝性能,將關鍵工藝區域與室內氣體分配系統隔離開來,並防止氣體純度受到破壞和交叉污染
●提供最完整的去除稀有氣體、氮氣(N2)和氫(H2)雜質,具有高可靠性、低成本和高性能
●加熱的獲取材料與任何氧化物、碳化物和氮化物雜質形成不可逆的化學鍵
●優化設計提供子ppb性能,優於來自氣缸或液體來源的氣體,占地面積小,流速高達150 slpm(9 Nm3/hr)
 


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