首頁 製程儀器 氣體淨化與過濾器 Entegris
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  • Model: GateKeeper® HGU Heated Getter Gas Purifiers

    這些 PS2、PS3、PS4 加熱式氣體淨化器採用唯一能夠去除工藝氣體中所有碳氫化合物和氮氣的淨化器技術。 ●使用點 （POU） 氣體淨化可確保一致且可重複的工藝性能，將關鍵工藝區域與室內more

  • Model: GateKeeper® GPU Gas Purifiers

    GateKeeper® GPU 系列淨化器旨在提高工藝氣體的一致性、使用壽命和出口純度。 ●純度到百分位水準 ●氣體相容性範圍廣泛，包括腐蝕性氣體，如Cl2、HBr、HCl、CFmore

  • Model: Wafergard® III NF-100 In-line Gas Filters

    這些鎳膜篩檢程式是超純氣體系統過濾最清潔、最高效的全金屬篩檢程式。 ●鎳膜在惰性和無功氣體應用中具有卓越的耐腐蝕性和優異的相容性，流量高達 100 slpm ●清潔全金屬結構是高溫和動態more

  • Model: Wafergard® III NF-750 In-line Gas Filters

    晶圓® III NF-750 線上氣體篩檢程式為超純氣體系統過濾提供卓越的顆粒過濾。 ●提供最清潔、最高效的全金屬篩檢程式 ●專利鎳濾膜 ●卓越的耐腐蝕性 ●適用于高溫和動態more

  • Model: Wafergard® II F Micro In-line Gas Filters

    卓越的顆粒過濾，用於超純氣體系統過濾。晶圓® II F 微型線上氣體篩檢程式推薦用於惰性氣體和活性氣體，可與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的相容性。其緊湊的直徑便於安裝在狹窄的氣板more

  • Model: Wafergard® II F-1500 In-line Gas Filters

    為超純氣體系統提供卓越的顆粒過濾，同時提供與各類半導體工藝氣體的卓越相容性。 ●PTFE 膜提供高效率的過濾 ●低壓降降低了低蒸汽壓力氣體中冷凝的風險 ●與各類半導體工藝氣體的相容性極more

  • Model: Wafergard® MAX-1000 In-line PTFE Gas Filter

    這些線上氣體篩檢程式利用由 PFA 結構和 316L 不銹鋼外殼支援的 PTFE 膜，在超純氣體應用中提供卓越的顆粒過濾。 ●過濾面積大，過濾量大3倍，低壓降，流量大 ●長度尺寸與當前濾more

  • Model: Wafergard® MAX In-line PTFE Gas Filters

    這些線上 PTFE 氣體篩檢程式與高純度氣體相容，在超純氣體應用以及一般氮氣和 CDA 應用中提供卓越的顆粒過濾。 ●PTFE 濾芯在超純應用中表現卓越 ●專為高流量和低增量壓力應用而設more

  • Model: Wafergard® MAX HT In-line Gas Filters

    卓越的顆粒過濾，適用于高溫、超純氣體應用。 ●專為高達 200°C （392°F） 的高溫 TEOS 和高壓應用而設計 ●總體設計（148 mm [5.82]）是類似篩檢more

  • Model: Wafergard® IV HF Mini In-line Gas Filters

    這些合金-22濾膜為超純和腐蝕性氣體系統提供卓越的顆粒過濾。more



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